Электроннолучевой испаритель SEE-UHV

Материалы для нанесения

Металл: Ag, Al, Au, Cu, Sn, Ti, Pt, Ge, Ni, Au
Оксид: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5

Размер подложки

Максимум 4 дюйма

Выход продукта

1 пластина/4 дюйма

Электронно-лучевая пушка

6ccx4pk

Источник питания электронного луча

6 кВт

Карманный селектор

4 карманных указателя

Контроллер развертки луча

Цифровое управление разверткой

Регулятор толщины

Один кварцевый датчик

Предельное давление

< 2,0E-9 Торр (криогенный насос)

Давление в камере нагружения

< 5,0E-6 Торр (TMP)

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Опция

Источник ионов, распылительная пушка, охлаждение подложки — наклон и вращение, максимальная температура подложки — 700 °C

Размеры (Ш*Д*В)

3000 мм x 800 мм x 1700 мм

Модель

Стоимость, доллары США

Электроннолучевой испаритель SEE-UHV

 По запросу