Распылитель TERRA – R

Материалы для нанесения

Оксидные материалы, термостойкие материалы, металлические материалы

Размер подложки

Кусок до 6 дюймов

Выход продукта

10 пластин на партию (4 дюйма)

Размер распылительного пистолета

От 4 до 8 дюймов

Мощность плазмы

ВЧ, постоянный ток или импульсный постоянный ток

Контроль давления

Автоматический контроль давления (дроссельный клапан и манометр)

Вращение подложки

0–20 об/мин

Технологические газы

Ar, O2, N2

Температура в Подсостоянии

От комнатной температуры до 650 ℃

Вакуумный насос

TMP или криогенный насос + роторный насос или сухой насос

Предельное давление

< 5,0E-7 Торр

Опция

Температура подложки 250 °C, термоиспарительная лодочка

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO) или вручную

Модель

Стоимость, доллары США

Распылитель TERRA – R

 По запросу