Распылитель TERRA – P

Материалы для нанесения

Оксидные материалы, термостойкие материалы, металлические материалы

Размер подложки

Кусок до 8 дюймов

Выход продукта

1 пластина/запуск (8 дюймов)

Размер распылительного пистолета

От 3 до 12 дюймов

Мощность плазмы

ВЧ, постоянный ток или импульсный постоянный ток

Контроль давления

Автоматический контроль давления (дроссельный клапан и манометр)

Вращение подложки

0–20 об/мин

Технологические газы

Ar, O2, N2

Температура в Подсостоянии

От комнатной температуры до 450 ℃

Вакуумный насос

TMP или криогенный насос + роторный насос или сухой насос

Предельное давление

< 5,0E-7 Торр

Опция

Камера Loadlock, плазменная очистка, охлаждение подложки, максимальная температура подложки 650 °C

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO) или вручную

Модель

Стоимость, доллары США

Распылитель TERRA – T

 По запросу