Распылитель TERRA-MOON

Применение

Одностороннее или двустороннее металлическое покрытие.

Материалы для нанесения

Металлические материалы: Ag, Cu, Ni, Ti

Размер подложки

Размер до 4 дюймов, прямоугольная форма

Выход продукта

В зависимости от размера выборки

Размер распылительного пистолета

Размеры от 800 мм * 150 мм * 10 мм (T)

№ распылителя

До 4 номеров

Мощность плазмы

ВЧ, постоянный ток или импульсный постоянный ток

Контроль давления

Автоматический контроль давления (дроссельный клапан и манометр)

Технологические газы

Ar, O2, N2

Вакуумный насос

TMP, криогенный насос или диффузионный насос + роторный насос или сухой насос

Предельное давление

< 5,0E-7 Торр

Опция

Двойное металлическое покрытие, плазменная очистка

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO) или вручную

Модель

Стоимость, доллары США

Распылитель TERRA – MOON

 По запросу