GNP CLEANER-412R

Технические характеристики
Компактная конструкция

Для обработки одной пластины

Применение в области исследований и разработок

Надежная работа

Этот уникальный очиститель пластин Post CMP интегрирован с двумя станциями для чистки двойными щетками компактной конструкции, что обеспечивает небольшую площадь и универсальность очистки (4 " ~ 12") пластин.

• Применимый размер пластин: 100 мм(4”) ~ 300мм(12”)
• Конфигурация: очистка распылением на входе, очистка двумя двусторонними щетками и сухое ополаскивание отжимом (опция: отдельный QDR)
• Размер очистителя: 1,610 Ш, 1,260 Г, 1,640 В мм
• Размер щетки: Ø70 (наружный диаметр) Ø31 (внутренний диаметр) 170 (L) мм
• Станция предварительной очистки: автоматическая очистка распылением и автоматическая завеса между станциями
• Станция роликовой щетки:
  Химический состав : NH4OH или DIW
  Тип щетки : кисточка из ПВА, очищающая переднюю и заднюю стороны вафель одновременно.
  Регулировка положения щетки: Осуществляется вручную (доступный диапазон зазоров между щетками: -10мм ~ 2мм)
  Скорость вращения : <±5% от конечного значения диапазона измерений 30 ~ 400 об / мин
  Подача химикатов : 4 насадки и через щетку
  Доступные химические вещества : химической 2[NH4OH]
  Максимальный расход : <±5% полной шкалы
• Отжимная станция:
  Опция: Megasonic sweep
  Скорость отжима: не более 2500 об / мин
  Промывка DI / продувка N2
• Управление:
  Процесс: Ручная загрузка с автоматической последовательностью, увлажнение / сушка
  Сенсорная панель ЖК-монитора, тип ПЛК для управления последовательностью