GCR4280 4-осевой манипулятор горизонтального шарнирно-сочлененного типа

Технические характеристики

Многоосевой манипулятор для сверхчистых помещений, 4-осевой шарнирно-сочлененный робот серии GCR4280-AM.

Предназначен для транспортировки кремниевых пластин большого диаметра (300 мм, 450 мм) в производственном оборудовании и контрольно-измерительных установках для полупроводниковой промышленности.

• Стандартная длина манипулятора:280 мм
• Поддержка контейнеров:до 3 FOUP (для пластин 300 мм) или 2 FOUP (для пластин 450 мм) при использовании одного манипулятора
• Варианты монтажа:возможность выбора между фиксацией на основании или фланцевом креплении в соответствии с требованиями оборудования
• Доступна конфигурация с двойным захватом
• Оснащенмонитором контроля движения
• Способ управления и связи:интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
• Все оси используютсерводвигатели переменного тока со встроенными абсолютными энкодерами
• Управление ускорением/замедлением по S-образной кривойобеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку стеклянных подложек
• Способы фиксации пластин:вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки
• Материал захвата:CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
• Возможность подбораоптимального захвата в соответствии с типом перемещаемых объектов и компоновкой оборудования

Ключевые преимущества:

• Специализированная конструкция для пластин большого диаметра
• Высокая производительность при работе с несколькими контейнерами FOUP
• Гибкость конфигурации и монтажа
• Различные варианты захвата пластин

Перечень моделей продукции:

Технические параметры