GNP CLEANER-412S

Технические характеристики

Этот уникальный очиститель пластин после CMP интегрирован с двумя станциями для чистки двойными щетками компактной конструкции, что обеспечивает небольшую площадь и универсальность очистки (4 ~ 12 дюймов) пластин.

• Применимый размер пластин: 100 мм (4 дюйма) и 300 мм (12 дюймов)
• Конфигурация: очистка распылением, очистка одной двойной боковой щеткой и отжимное ополаскивание насухо (опция: отдельный QDR)
• Размер очистителя: 1100 Ш, 1100 Г, 1650 В мм
• Размер щетки: Ø70 (наружный диаметр) Ø32 (внутренний диаметр) 170 (L) мм
• Регулировка зазора между щетками: автоматически управляется ПЛК (доступный диапазон зазоров между щетками: -10 мм ~ 2мм)
• Химический состав: NH4OH ~ 1% в наличии
• Тип щетки: Двусторонняя щетка из ПВА
• Скорость вращения щетки: не более 400 об / мин
• Скорость отжима: Ручная загрузка с автоматической последовательностью, смачивание / сушка, не более 2000 об/мин
• Ополаскиватель DIW / Продувка N2
• Процесс: Ручная загрузка в автоматической последовательности, увлажнение / сушка
• Сенсорная панель ЖК-монитора, тип ПЛК с последовательным управлением