Основные технические характеристики KLA-Tencor 6200-SurfScan
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
6200-SurfScan |
|
Тип |
Лазерный сканирующий инспектор поверхности (Laser Surface Inspection System) |
|
Диаметр обрабатываемых пластин |
150–200 мм (6–8 дюймов), опционально до 300 мм |
|
Типы дефектов |
Частицы, царапины, пятна, дефекты полировки, ямки, шероховатость |
|
Размер обнаруживаемых частиц |
До 0.12 мкм (120 нм) на 200 мм пластинах |
|
Диапазон измерения шероховатости |
0.05–10 нм RMS (среднеквадратичное) |
|
Метод обнаружения |
Лазерное сканирование с рассеянием света (dark-field) |
|
Источник лазера |
Газовый лазер (He-Ne) или полупроводниковый лазер с длиной волны 633 нм или 532 нм |
|
Скорость сканирования |
До 100–150 пластин/час (зависит от рецепта и размера пластины) |
|
Система загрузки пластин |
Автоматическая кассетная загрузка (до 25 пластин) |
|
Управление |
Промышленный ПК с программным обеспечением KLA для анализа дефектов, картографирования и статистического контроля процессов (SPC) |
|
Габариты (Ш × Г × В) |
Примерно 1.2 × 1.0 × 1.5 м |
|
Масса |
Примерно 400–500 кг |
|
Напряжение питания |
200–240 В, 1 фаза, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
Примерно 1.5–2.5 кВт |
Ключевые особенности
- Высокочувствительное обнаружение дефектов
Система способна обнаруживать частицы размером до 120 нм на пластинах 200 мм, что позволяет контролировать чистоту пластин на всех этапах производства.
- Измерение шероховатости поверхности
SurfScan 6200 позволяет измерять среднеквадратичную шероховатость (RMS) поверхности пластины, что критически важно для контроля качества после CMP и других процессов финишной обработки.
- Лазерное сканирование в темном поле (dark-field)
Метод основан на регистрации рассеянного света от дефектов на фоне гладкой поверхности. Это обеспечивает высокую чувствительность к мельчайшим частицам и дефектам.
- Автоматизированная загрузка и картографирование
Кассетная загрузка (до 25 пластин) позволяет проводить автоматический контроль партий пластин. Система строит карты распределения дефектов по поверхности, что облегчает анализ и выявление источников загрязнений.
Производство: США
JoomShopping Download & Support