Filmetrics F10-RT-UV

Модель

F10-RT-UV

Тип

Спектральный рефлектометр для измерения толщины тонких пленок

Спектральный диапазон

190–1100 нм (ультрафиолетовый, видимый и ближний инфракрасный диапазоны)

Тип источника света

Дейтериевая лампа (UV) + галогенная лампа (VIS/NIR)

Детектор

Матричный ПЗС-детектор (CCD) с высокой чувствительностью

Диаметр пятна измерения

Стандартно 1–2 мм (опционально микро-опция для пятна 100–200 мкм)

Диапазон измеряемых толщин

10 нм – 200 мкм (зависит от материала и типа пленки)

Точность измерения толщины

±0.2 нм (для тонких пленок, зависит от оптической модели и рецепта)

Типы измеряемых пленок

Прозрачные и полупрозрачные диэлектрические слои (SiO₂, Si₃N₄, фоторезист, полимеры, оксиды металлов и др.)

Измеряемые параметры

Толщина пленки, оптические константы (n, k), коэффициенты отражения

Система загрузки образцов

Ручная загрузка; опционально автоматическая XYZ-платформа для картографирования

Диаметр образцов

От малых фрагментов до пластин диаметром 200–300 мм (с соответствующими держателями)

Управление

Промышленный ПК с программным обеспечением Filmetrics для управления измерением, построения карт толщины, анализа данных и статистического контроля (SPC)

Габариты (Ш × Г × В)

Примерно 0.5 × 0.4 × 0.2 м

Масса

Примерно 10–15 кг

Напряжение питания

100–240 В, 1 фаза, 50/60 Гц

Потребляемая мощность

Примерно 0.1–0.2 кВт