Основные технические характеристики Nikon i11C
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
i11C |
|
Тип |
i-line степпер (пошаговое совмещение и экспонирование) |
|
Источник экспонирования |
Ртутная лампа i-line (длина волны 365 нм) |
|
Разрешение |
0.35 мкм (350 нм) |
|
Коэффициент редукции объектива |
5:1 (5-кратное уменьшение) |
|
Максимальное поле экспонирования (изображение) |
22 × 22 мм |
|
Размер пластины |
200 мм (8 дюймов) |
|
Точность совмещения |
≤ 70 нм (типичное значение) |
|
Производительность |
Примерно 80–100 пластин в час (зависит от условий) |
|
Тип стола |
Аэростатический (воздушный подшипник) для высокой точности и скорости |
|
Автофокус / Автовыравнивание |
Да |
|
Размер ретикла |
6 × 6 дюймов (толщина 0.25 дюйма) |
|
Занимаемая площадь |
Примерно 2.4 × 2.2 м (зависит от конфигурации) |
|
Напряжение питания |
200–230 В, 3 фазы, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
Примерно 5–7 кВт |
Ключевые особенности
- i-line экспонирование (365 нм)
Система использует ртутную лампу i-line для засветки фоторезиста на пластинах. Оптимизирована для процессов, требующих разрешения до 0.35 мкм, что подходит для устройств с критическими размерами в субмикронном диапазоне.
- Высокая точность совмещения
Степпер оснащен усовершенствованной системой совмещения Nikon, обеспечивающей точность ≤ 70 нм, что гарантирует правильное совмещение слоев при многослойной литографии.
- Аэростатический стол
Стол на воздушных подшипниках обеспечивает плавное, бесвибрационное движение, позволяя обрабатывать пластины с высокой скоростью и точностью.
Встроенные системы автофокуса и автовыравнивания поддерживают оптимальные условия экспонирования по всей поверхности пластины, компенсируя ее коробление и вариации толщины.
- Предназначена для обработки пластин 200 мм с производительностью до 100 пластин в час, что делает её подходящей для серийного производства в зрелых полупроводниковых фабриках.
Производство: Япония
JoomShopping Download & Support