Автоматизированный тестовый стенд TZ-803A

Технические характеристики

Это оборудование в основном используется для анализа и тестирования электрических параметров полупроводниковых дискретных устройств, фотоэлектрических устройств и отдельных микросхем на пластинах интегральных схем. В комплекте с измерительным прибором устройство может автоматически выполнять тестирование электрических параметров чипов.

• Измеряемый диаметр пластины: 5″, 6″, 8″;
• Максимальный ход рабочего стола: 240 мм × 300 мм;
• Точность позиционирования: ≤ ±0,010 мм / 200 мм;
• Максимальная скорость рабочего стола: 200 мм/с;
• Шаг разрешения: 0,001 мм;
• Ход столика по оси Z: 20 мм;
• Точность позиционирования по оси Z: ≤ ±0,003 мм;
• Разрешение по оси Z: 0,001 мм;
• Диапазон регулировки θ: ±6°;
• Точность автоматического выравнивания θ: ≤ ±0,01°;
• Габаритные размеры: 750 мм × 1250 мм × 1600 мм.