Технические характеристики
- Автономный модуль детектирования скрытых трещин и сколов;
- Оснащение системой выброса дефектных пластин;
- Полностью настраиваемая оптическая система;
- Повышенная надежность;
- Улучшенное качество визуализации;
- Высокоэффективный ИИ-алгоритм;
- Время обработки одной пластины менее 200 мс;
- Программная поддержка двухканального режима;
- Повышение производительности;
- Снижение эксплуатационных затрат;
- Портальная конструкция напольного типа;
- Компактность (минимальная ширина 200 мм);
- Экономия производственного пространства.
Технические параметры
|
Поддерживаемые материалы |
Исходные кремниевые пластины, заготовки после предварительной обработки PE Макс. размер: 230 мм |
|
Габариты оборудования |
Д×Ш×В: 450×150×520 мм (Высота регулируется под условия производственной линии) |
|
Функции контроля |
|
|
Объекты детектирования |
Скрытые трещины, сколы, микроотверстия, черные точки, перевернутые пластины, следы от проволоки |
|
Автоматизация |
Полностью автоматизированный ИИ-контроль в реальном времени без необходимости ручной проверки |
|
Аналитика данных |
Визуализированная количественная статистика для оптимизации технологических процессов |
|
Производительность |
|
|
Скорость обработки |
Более 7200 шт./час |
|
Время детектирования |
Менее 200 мс/шт. |
|
Время безотказной работы |
99.9% |
|
Максимальная точность |
70 мкм |
|
Точность детектирования |
- Ложные срабатывания: менее 0.03% - Пропуск дефектов: менее 0.01% - Охват контроля: более 95% (на выборке более 10 000 пластин) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
MatrixSemi 2000 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support