Обзор продукта
Усовершенствованная силовая полупроводниковая пробоотборная система TESLA300 на пластине представляет собой интегрированное мощное испытательное решение, которое позволяет собирать точные данные измерений высокого напряжения и большого тока напряжением до 3 кВ (трехосный) / 10 кВ (коаксиальный) и 200 А (стандартный) / 600 А (большой ток) при полной безопасности оператора.
TESLA300 предоставляет возможности автоматизации лаборатории и позволяет проводить мощные электрические измерения для определения характеристик устройств, проектирования больших объемов и чрезвычайно сложных применений. Он также идеально подходит для индивидуальных решений, нишевых производственных приложений и развивающихся рынков.
Запатентованная технология AttoGuard, встроенная в TESLA300, значительно улучшает результаты измерений с низкой утечкой и малой емкостью. В сочетании с запатентованной компанией FormFactor технологией термозакрепления TESLA FemtoGuard™ TESLA300 обеспечивает полностью защищенную испытательную среду. Мощный патрон TESLA FemtoGuard также оснащен технологией MicroVac ™, обеспечивающей низкое контактное сопротивление, обработку тонких пластин и максимальное рассеивание мощности.
Основные характеристики
Позолоченные патроны TESLA High-power MicroVac™
- Предотвращает скручивание и ломку тонких пластин
- Усовершенствованная поверхность патрона MicroVacдля минимального контактного сопротивления между пластиной и патроном.
- Точное измерение Rds (включено) при высоком токе
- Точные измерения пользовательского интерфейса при высокой температуре
Сертифицированная TUV среда для проведения зондирования
- Надежная система блокировки для испытаний с высокой мощностью (соответствует EN 60947-5-1, EN 60204-1)
- Передние, боковые и задние открывающиеся двери для эргономичной настройки и эксплуатации тестовых систем
- Боковая панель со сквозным кабелем для упрощения настройки оборудования
- Конструкция полного корпуса (без световой завесы) предотвращает случайное срабатывание предохранительной блокировки и остановку теста
Загрузка пластин с верхним подъемом
- Для измерения мощности лучшего в своем классе устройства из патрона извлекаются подъемные штифты
- Обеспечивает минимальное контактное сопротивление от пластины к патрону
- Поддерживает полностью автоматизированное тестирование напряжением до 10 кВ за счет устранения точки образования дуги
- Превосходная производительность при измерениях вертикальным прибором (нет отверстий для подъемных штифтов под прибором)
Этап развертывания с быстрым доступом к вспомогательным узлам
- Полный доступ к пластинам через блокирующую выкатную ступень
- Два запатентованных вспомогательных патрона
- Вспомогательные патроны: Совместимые с высоким напряжением 10 кВ универсальные крепления для подложек (очистка, контакт)
- Возможности автоматической очистки пробоотборников
Высоковольтные /токовые пробоотборники
- Определение характеристик устройства питания на пластине до 10 000 В постоянного тока / 600 А
- Сокращено разрушение пробоотборников и устройств при высоких токах до 20 А постоянного тока и 300 А импульсного
- Повышенное сопротивление изоляции и диэлектрическая прочность для обеспечения полной трехосности при высоком напряжении (3000 В) для измерения утечек с низким уровнем
Соединительные панели
- Доступны коаксиальные, трехосные и штыревые питающие лотки
- Ограничьте натяжение и перемещение кабеля для обеспечения стабильности измерений
- Прибор остается подключенным к задней панели
- Подключение пробоотборника осуществляется на передней панели
- При необходимости кабели легко перестраиваются
Бесшовная интеграция
- Удобные комплекты для подключения приборов
- Бесшовная интеграция Velox с анализаторами / программное обеспечение для измерений
- Простая и безопасная системная интеграция с анализаторами Keysight и Keithley power device
3D Ручное управление
- Виртуальный подъем валика и XY-ручки спереди
- Интуитивно понятное и точное перемещение патрона в направлениях X, Y и Z
- Подъем валика обеспечивает чрезвычайно быстрый и интуитивно понятный способ выполнения многих задач по выравниванию, таких как настройка высоты контакта
Погрузочно-разгрузочная установка (MHU301)
- Для быстрой обработки пластин диаметром 200/300 мм
- Загрузка / выгрузка пластины в патрон горячего / холодного отжима (от -60 ° C до + 300 ° C)
- Встроенный предварительный выравниватель для обнаружения плоских поверхностей / зазубрин
- Распознавание штрих-кода / 2D-матричного кода / OCR-кода пластины с обеих сторон (опция)
- Опция порта быстрого доступа для увеличения пропускной способности и дополнительного хранения пластин
- Совместимый загрузочный порт для 25 пластин
- Для кассет с пластинами FOUP и FOSB диаметром 300 мм
Тепловые измерения
- Широкий ассортимент чрезвычайно производительных и надежных систем термозакрепленияот ATT
- Гибкость от только горячего до полного температурного диапазона от -60 ° C до + 300 ° C
- До 25% более низкий расход воздуха (CDA), чем у других систем на рынке (300 л / мин), без компромиссов во время перехода
- Время перехода до 15% быстрее, чем у других систем, представленных на рынке
- Запатентованные технологии MicroVac™и FemtoGuard ™ , обеспечивающие измерения со сверхнизким уровнем шума и контролируемую утечку, низкую остаточную емкость для обеспечения повторяемости и повышенной точности и скорости измерений
- Возможность модернизации в полевых условиях: растет в соответствии с вашими потребностями
Удаленное управление из дома или из любой точки мира
- Безопасно и легко устанавливайте щупы так, чтобы они соприкасались с тестовыми площадками (полная функциональность благодаря моторизованным позиционерам)
- Безопасно перемещайте пластину на различные испытательные площадки
- Просмотр зондов и пластины в режиме реального времени под микроскопом и управление ими
- Просмотреть планы испытаний на карте пластин
- Запускайте программы удаленного тестирования для сбора и анализа тестовых данных
Программное обеспечение для управления зондовой станцией Velox
- Ориентированный на пользователя дизайн сводит к минимуму затраты на обучение и повышает эффективность
- Совместимость с Windows 10 обеспечивает высочайшую производительность и безопасную работу с самым современным оборудованием
- Комплексные функции выравнивания – от простого выравнивания и сопоставления пластиндо расширенного выравнивания зонда с контактной площадкойпри различных температурах для автономного тестирования полупроводников
- Упрощенная эксплуатация для неопытных пользователей: снижены затраты на обучение благодаря руководству по рабочему процессуи сжатому графическому интерфейсу пользователя
- Опция VeloxPro: программное обеспечение для управления тестированием, совместимое с E95, которое обеспечивает упрощенную и безопасную автоматизацию всего цикла тестирования пластин.
JoomShopping Download & Support