Acquire Automation XT

Технические характеристики

Acquire Automation XT - это полностью автоматизированное программное обеспечение, которое выполняет измерения компонентов, оценку данных измерений и регистрацию результатов. Простое создание рецептур, измерение с использованием нескольких датчиков или гибридная метрология, соответствие отраслевым стандартам или сложные измерительные задачи - все это входит в стандартную комплектацию Acquire Automation XT. Благодаря интеграции различных роботизированных систем и интерфейсов для дистанционного управления, полная интеграция в производство становится простым шагом.

Оценки

С помощью программного обеспечения Acquire Automation XT, основанного на рецептах, возможно полностью автоматическое выполнение и оценка результатов измерений. Выберите из множества пакетов программу измерения и оценки, подходящую для вашей задачи измерения. В зависимости от метода оценки могут быть установлены различные параметры. Кроме того, также доступны функции форматирования (фильтры). Для повторяющихся структур мастер компоновки с графическим интерфейсом пользователя (GUI) может помочь вам в изучении положений измерений. Кроме того, опционально доступно точное выравнивание образцов с помощью их распознавания.

Рецепты, результаты, экспорт

Не только пользовательский интерфейс, но и представление результатов измерений и их оценка могут быть адаптированы в любое время и индивидуально с учетом ваших потребностей. Различные положения отдельных компонентов для измерения, а также несколько аналогичных образцов в держателе могут быть автоматически проверены за один цикл измерений. Для этого можно изучить различные геометрические формы образцов и установить их в правильное положение для измерения с помощью распознавания образов и автоматической точной юстировки.

Обработка, роботы, SECS/GEM

Для многих промышленных применений необходимо выполнять полностью автоматические измерения с высокой производительностью. Для этой цели необходима автоматическая обработка образцов. MicroProf® специально разработан для полупроводниковой промышленности и MEMS-систем и может быть легко сконфигурирован для различных типов образцов и пластин.

Погрузочно-разгрузочный блок оснащен манипулятором с вакуумным приводом, станциями загрузки открытых и закрытых кассет, включая картограф и дополнительный OCR-считыватель, устройство предварительного выравнивания и т.д. Он может обрабатывать пластины размером от 2 до 12 дюймов. В зависимости от конфигурации, одновременно можно обрабатывать до четырех кассет.

Все функциональные возможности системы обработки доступны через удобный пользовательский интерфейс FRT Acquire Automation XT и полностью интегрированы в технологические процессы.

Для интеграции в существующие MEMS-системы, что является важным аспектом индустрии 4.0, доступны модули для различных интерфейсов. В области полупроводников мы поддерживаем стандарт SECS/GEM для всех размеров пластин менее 300 мм, а также стандарт GEM300 для пластин диаметром 300 мм. Таким образом, мы охватываем все распространенные размеры пластин. Дополнительные модули доступны для других отраслей промышленности, например, для интеграции в iTAC.

Основные характеристики

• Полная автоматизация 2D и 3D измерений
• Выбор многочисленных задач измерения, фильтров и оценок в соответствии со стандартами SEMI и DIN-EN-ISO
• Простое составление индивидуальных рецептов измерения с учетом индивидуальной геометрии и расположения образцов
• Управление результатами измерений в базе данных и их экспорт в различные форматы или прямая передача в систему отслеживания
• Интеграция исполнительных механизмов, таких как роботизированные системы для обработки образцов и нагревательные столы, в последовательность измерений
• Полная интеграция в производственные среды благодаря интерфейсам для удаленного управления, таким как SEMI SECS/GEM, iTAC
• Интуитивно понятный пользовательский интерфейс с уровневыми правами пользователя в соответствии со спецификациями SEMI