Автоматическое оборудование для контроля оптических пластин серии IFOX

Применение: 2D-макроскопическое обнаружение дефектов, измерение размеров и 3D-измерение выпуклости для 8-дюймовых > 12-дюймовых неизолированных пластин и рамных пластин, которые могут осуществлять многомерный контроль различных характеристик пластин.

Технические характеристики

1. Качество изображения: Для достижения сверхбыстрого сканирования с минимальными аберрациями используется самая передовая технология камеры.
2. Пакет интеграции измерений: Han's Laser является первой компанией, использующей пакет интеграции измерений, который может создать быстрое измерительное решение простым и удобным способом
3. Оптическая система: используйте независимый и передовой широкопольный микроскоп, оснащенный усовершенствованной системой освещения и технологией фокусировки в реальном времени.
4. Поиск дефектов: используйте передовые интеллектуальные алгоритмы дефектов для преодоления вариаций, вызванных производственным процессом.
5. Линейный высокоточный двигатель, каскад XYZ, разрешение 100 нм
6. Механическая структура имеет точность 200 нанометров.
7. Чистый дизайн (подвижная платформа находится на нижней стороне пластины)
8. Плавающая платформа-пьедестал снижает воздействие вибрации оборудования.

Технические параметры

Эффект обработки: