Прибор для контроля качеств кремниевых блоков WT-2000D

Технические характеристики

WT-2000D - это полноценный измерительный инструмент для контроля качества кремниевых блоков путем измерения срока службы при рекомбинации носителей и удельного сопротивления. Система обеспечивает быстрые бесконтактные измерения (одноточечные, линейные сканирования и/ или карты) на кремниевых блоках размером до 210x210x500 мм. Он имеет ручной и автоматический режимы измерения, а также возможность ручной загрузки блоков.

Время жизни при рекомбинации носителей является основным параметром контроля качества блоков из многокристаллического кремния. Измерение основано на методе µ-PCD.

Удельное сопротивление измеряется с помощью вихретокового метода.