Технические характеристики
SEIR-3000 использует запатентованную инфракрасную рефлектометрию на основе моделей (MBIR) и технологию спектроскопической эллипсометрии (SE) для обеспечения высокой производительности, низкого COO, бесконтактных, неразрушающих измерений трехмерных геометрических структур и однородности легированных эпитаксиальных слоев и пленок, используемых в производстве интегральных схем. Небольшой размер пятна делает инструмент подходящим для измерений тестовых структур scribeline. Уникальная гибридная технология SE-IR и аналитические возможности SEIR-3000 позволяют проводить измерения сложных структур и стопок пленок.
Особенности и технические характеристики системы:
- Масштабируемые возможности измерений на всех технологических узлах
- Возможность смешанной работы на 150/200 мм или 200/300 мм под программным управлением
- Программное обеспечение на базе Windows с возможностью выбора / генерации рецептов по меню
- Cognex Patmax© распознавание образов
- Автофокусировка на основе камеры
|
Модель |
Стоимость |
|
SEIR-3000 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support