Инфракрасный рефлектометр IR-2100, IR-2200, IR-2500, IR-3200

Технические характеристики

Инфракрасная рефлектометрия на основе моделей с увеличенной длиной волны с высокой пропускной способностью, низким COO, бесконтактными, неразрушающими измерениями толщины и однородности диэлектрических слоев и травленых структур, используемых в производстве интегральных схем. Уникальная технология и аналитические возможности линейки ИК-продуктов упрощают требования к калибровке системы и устраняют влияние изменений подложки при измерениях ключевых слоев.

Особенности и технические характеристики системы:

• Серия продуктов и размер выборки:
  • IR-2100: размер купона до 300 мм
  • IR-2200: 150/200 мм, с одной открытой кассетой или загрузочным портом SMIF
  • IR-2500: 300 мм, с одним загрузочным портом FOUP
  • IR-3200: 200/300 мм, с двумя открытыми кассетными портами для загрузки SMIF или FOUP.
• Каждое изделие доступно с одной из следующих оптик MBIR:
  • Оптика с большим пятном в основном используется для пленок или для измерений в зоне действия устройства на пластинах с рисунком.
  • Малая точечная оптика позволяет измерять тестовые структуры scribe line на пластинах с рисунком.
• Cognex Patmax© распознавание образов
• Автофокусировка на основе камеры
• Надежная панель накаливания / галогенный источник со сроком службы > 3 лет
• Соответствие:
  • Директива по электромагнитной совместимости
  • Директива о низком напряжении
  • Соответствие ПОЛУ стандартам
• Программное обеспечение на базе Windows с возможностью выбора / генерации рецептов по меню