Технические характеристики
- Размер пластин:** 8” – 12” ·
- Функция автоматического оптического контроля (AOI)·
Оснащен функцией автоматической фотофиксации заданных точек на поверхности пластины (входной контроль) - Возможность произвольной установки позиций для съемки (настройка рецепта)
- 5-осевой робот
- Пре-алигнер (предварительное выравнивание) пластин для 8”/12”
- Считыватель идентификатора пластины (Wafer ID reader) (опция)
- RFID-считыватель(опция)
- Способен основное оборудование в обработке данных по протоколам SECS/GEM
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Автоматический оптический контроль_AOI |
По запросу |
JoomShopping Download & Support