Экспонирующая машина BG-401B

Технические характеристики

Он в основном используется для выравнивания и экспонирования в процессе производства интегральных схем малого и среднего масштаба и полупроводниковых компонентов. Этот продукт использует светодиодный источник света, который прост в эксплуатации, отличается высокой стабильностью, хорошей повторяемостью и имеет высокое соотношение производительности. Его можно широко использовать в научных исследованиях и производстве.

• Максимальный размер обрабатываемой подложки: ⌀4" (100 мм);
• Максимальный размер фотошаблона: 5" (125×125 мм);
• Рабочий зазор между подложкой и фотошаблоном: 0-0.05 мм;
• Точность совмещения: ±1 мкм;
• Источник экспонирования: UV-LED лампа;
• Разрешающая способность экспонирования: 1.5 мкм (для позитивного резиста в режиме вакуумного копирования).