Технические характеристики
Он в основном используется для выравнивания и экспонирования в процессе производства интегральных схем малого и среднего масштаба и полупроводниковых компонентов. Этот продукт прост в эксплуатации, обладает высокой стабильностью, хорошей повторяемостью, высоким соотношением производительности и цены и может широко использоваться в научных исследованиях и производстве.
- Максимальный размер подложки: ⌀4" (100 мм);
- Максимальный размер фотошаблона: 5" (125×125 мм);
- Зазор подложка-фотошаблон: 0-0.05 мм;
- Точность совмещения: ±1 мкм;
- Разрешение экспонирования: 1.5 мкм (вакуумный контакт).
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Экспонирующая машина BG-401A |
По запросу |
JoomShopping Download & Support