Двухпозиционная экспонирующая машина BG-408

Технические характеристики

Оборудование представляет собой полностью автоматизированную установку для прецизионного совмещения и экспонирования, применяемую в производстве интегральных схем малой и средней сложности, а также полупроводниковых компонентов. Система автоматически выполняет транспортировку подложек, совмещение и процесс экспонирования, обеспечивая удобство эксплуатации, высокую производительность и стабильность работы.

• Максимальный размер подложки: φ100 мм;
• Максимальный размер фотошаблона: 125×125 мм;
• Толщина кремниевых пластин или подложек: 0.2-1.1 мм;
• Производительность: 260 пластин в час (при времени однократного экспонирования 3 секунды);
• Точность совмещения рабочего стола: ±5 мкм;
• Разрешающая способность системы экспонирования: 2 мкм (при контактном экспонировании с позитивным резистом толщиной 1 мкм).