Двухпозиционная экспонирующая машина BG-408

Технические характеристики

Данное оборудование представляет собой полностью автоматизированную систему экспонирования, предназначенную для совмещения и экспонирования в процессе производства интегральных схем малой и средней степени интеграции, а также полупроводниковых компонентов. Этот продукт автоматически завершает процесс передачи, выравнивания и экспонирования подложки, который прост в эксплуатации, отличается высокой производительностью.

• Максимальный размер подложки: φ100 мм;
• Максимальный размер фотошаблона: 125×125 мм;
• Толщина кремниевой пластины или подложки: 0,2–1,1 мм;
• Производительность: 260 пластин/час (при времени однократного экспонирования 3 с);
• Рабочий стол: точность совмещения 5 мкм;
• Система экспонирования: разрешающая способность 2 мкм (контактное экспонирование, позитивный резист толщиной 1 мкм).