Технические характеристики
- Применение технологии совпадения траекторий грубой и чистовой шлифовки значительно повысило стабильность качества обработки ультратонких кремниевых пластин, что позволяет выполнять точное уменьшение толщины 8-дюймовых пластин до менее 100 мкм;
- Двухшпиндельный трехпозиционный полностью автоматический станок для уменьшения толщины оснащен встроенным измерительным блоком для точного контроля толщины обработки, имеет собственные оптимизированные 8-дюймовые сверхпрецизионные пневматические шпиндели и воздушные подушки, а также поддерживает функцию сетевого подключения SECS/GEM.
Технические параметры
|
Способ шлифовки |
Продольное врезное шлифование с вращением пластины |
||
|
Конструкция |
2 шпинделя, 3 держателя пластин, 1 поворотный стол |
||
|
Обрабатываемый размер |
— |
мм |
Max. Ø200 (Φ4"–Φ8") |
|
Диаметр шлифовального круга |
— |
мм |
Φ200 |
|
Шпиндель |
Количество |
— |
2 |
|
Мощность |
кВт |
5.5 |
|
|
Скорость вращения |
об/мин |
1000–6000 |
|
|
Ход по оси Z |
мм |
120 |
|
|
Разрешение по Z |
мкм |
0.1 |
|
|
Держатель пластины |
Способ фиксации |
— |
Вакуумный |
|
Тип держателя |
— |
Многопористая керамика (совместимость с 6/8") |
|
|
Скорость вращения |
об/мин |
0–300 |
|
|
Количество |
шт. |
3 |
|
|
Точность уменьшения толщины |
Отклонение толщины внутри пластины |
мкм |
≤ 2.5 |
|
Отклонение толщины между пластинами |
мкм |
≤ ±2.5 |
|
|
Шероховатость поверхности Ra |
мкм |
≤ 0.02 (круг #2000, Si) |
|
|
Оборудование |
Габариты |
мм |
1200×2760×1950 |
|
Вес |
кг |
≈ 3800 |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Автоматическая прореживающая машина WG-8501 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support