Система для полировки и чистки SC300-CC

Это устройство для очистки с одной створкой, совместимое с 300 мм пластинами. При соединении его с полировальным станком линия подачи пластины сводится к минимуму, и это способствует повышению производительности.

Технические характеристики

1. Высокая производительность.

Он удерживает мелкие частицы размером 19 нм или менее. Благодаря оптимизации эффективности транспортировки и конструкции камеры производительность очистки была улучшена примерно на 25% по сравнению с обычными машинами;

2. Соединение с полировальной машиной.

При подключении к полировальной машине линия подачи пластины сокращается до минимума. Это повышает производительность и предотвращает обратное загрязнение посторонними веществами при транспортировке во влажном состоянии.