Система для переноса пластин 8-12 дюймов RTO812-B

Технические характеристики

• Подходит для 8-дюймовой кассеты и 12-дюймовой пластины с 25 слотами FOUP / FOSB; закрытый пластинчатый картридж может автоматически переключать крышку, автоматическое отображение, левое и правое наклонное позиционирование, функция обнаружения ламинирования, выпуклое обнаружение, функция защиты от защемления; дополнительная функция распознавания считывателя RFID-карт, функция E84.;
• Манипулятор для перемещения пластин: горизонтальная ось в нижней части днища позволяет учитывать параллельное положение порта двойной загрузки для извлечения пластин; манипулятор для перемещения пластин перемещается по всем четырем осям одновременно, передача безопасна и стабильна, а двойные поперечные рычаги выполняют один прием и одно перемещение для повышения эффективности перемещения пластин.;

Технические параметры