Технические характеристики
|
Размер пластины |
100 мм ~ 150 мм |
|
Функции |
ld / робот / Центрирование / система замачивания / |
|
Тип робота |
Двойные манипуляторы с системой картографирования |
|
Класс чистоты |
Класс 100 с HEPA |
|
Скорость вращения |
30 ~ 5000 об/мин |
|
Система замачивания |
Реагент для стриппера температура 80°C |
|
Система зачистки |
С запатентованной технологией TCM скорость сканирования сопла® |
|
Управление системой |
ПК (Опция: функция CIM И SECS / GEM) |
|
Управление системой |
mitsubishi серии Q |
|
Производительность/час |
35 шт |
|
Производительность |
1. Одна станция для подъема металла и снятия |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ELS906FA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support