Вращающаяся центрифуга LS908FA

Размер пластины

Пластина 150 мм ~ 200 мм

Функции

ld / робот / Центрирование / система замачивания /
система снятия изоляции / Очистка / Uld

Тип робота

Двойные манипуляторы с системой картографирования

Класс чистоты

Класс 100 с HEPA

Скорость вращения

30 ~ 5000 об/мин

Система замачивания

реагент для стриппера температура 80°C

Система зачистки

С запатентованной технологией TCM 
Гибкая скорость сканирования сопла

Управление системой

ПК (Опция: функция CIM И SECS / GEM)

Управление системой

mitsubishi серии Q

Производительность/час

35 шт

Производительность

1. Одна станция для подъема металла и снятия
PR 2. Коэффициент извлечения металла (Au) > 90%
3. Стоимость химикатов для отпарной машины снижена > 50%
(по сравнению с Типом мокрого стола)

Модель

Стоимость, доллары США

LS908FA

По запросу