Калибратор пластин PA04-12

Оборудование обеспечивает предварительное позиционирование центра и плоских краев пластины толщиной 4-12 дюймов с высокой точностью и высокой эффективностью для удовлетворения потребностей в транспортировке пластины.

Технические характеристики

• Подходит для предварительной калибровки положения пластин оборудования для производства полупроводников и испытательного оборудования;
• Бесконтактная пластина с предварительным расположением;
• Совместим с полустандартными пластинами диаметром 100 ~ 300 мм и прозрачными пластинами.;
• Положение считывания кода: 8-12 дюймов.;
• Сертификация SEMI S2;
• Метод обнаружения: датчик\визуальная ПЗС-матрица\зажим.

Технические параметры