Технические характеристики
- Среда использования: Атмосфера чистого помещения
- Размер пластины: 300 мм
- Перемещаемый объект: Кремниевые пластины
Предназначен для калибровки положения пластин внутри полупроводникового производственного оборудования и контрольно-измерительной аппаратуры.
Краевая система фиксации позволяет минимизировать площадь контакта захвата с поверхностью пластины.
Обеспечивает высокоскоростное и высокоточное определение центра кремниевой пластины и ориентации по срезу/выемке путем фиксации кромки пластины.
Исключает частичное загрязнение, вызванное поверхностным трением.
Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс.
Технические параметры
|
Перемещаемый объект |
300 мм кремниевые пластины |
|
Время определения положения |
2,5 сек для позиционирования по выемке пластины (без повторного захвата) |
|
Точность позиционирования |
Центр пластины: в пределах ±0,3 мм |
|
|
Позиционирование выемки: в пределах ±0,3° |
|
Датчики |
Светодиодные датчики сквозного типа |
|
Класс чистоты |
Class 1 (0,1 мкм/куб.фут) при отдельной вытяжке из приводных механизмов |
|
Привод |
2-фазные шаговые двигатели (2 оси) Контроллер двигателей и генератор импульсов встроены в корпус |
|
Питание оборудования |
DC24V±10%, 2A |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SAL20C1 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support