Машина для травления и очистки кремниевых пластин

Технические характеристики

1. В машине используется импортная пластина Röschling, которая может работать в среде кислотной травления в течение длительного времени. Она прочная, долговечная и имеет двухслойную конструкцию, предотвращающую утечку.
2. Технологическое оборудование, использующее HF+HNO3/H3P04+HNO3 и другие процессы для травления и очистки поверхностей кремниевых пластин. Оно может очищать кремниевые пластины размером 4", 5" и 6".
3. Могут быть разработаны ручные и полностью автоматические операции, а полностью автоматический режим работы использует два независимых роботизированных манипулятора, которые можно поднимать и опускать.
4. Производительность очистки: пластины размером 4–6 дюймов, 2 корзины на партию по 25 пластин.
5. Температура каждого технологического резервуара регулируется. и независимо контролируются.
6. Каждый технологический резервуар имеет модульную конструкцию, а резервуар для травления и резервуар для промывки чистой воды размещены в едином герметичном шасси. Резервуар для травления имеет нижнюю вытяжку для уменьшения объема выхлопных газов.
7. Технологический резервуар может быть сконструирован по индивидуальному заказу, с подъемным действием для очистки. Быстрее и тщательнее.
8. В части управления используется импортный PLC и HM.
9. Передняя часть машины оснащена пистолетом для чистой воды из PTFE и пистолетом для азота из PTFE с правой стороны.
10. Стандарты проектирования оборудования реализуются в соответствии со стандартами полупроводниковой промышленности (SEMI-S2-93), а система управления качеством ISO9001 стандартизирована и гарантирована.