Машина для травления диэлектриков NMC 508RIE

NMC 508RIE — это машина для сухого травления с емкостной плазмой. Она подходит для процесса травления диэлектрического слоя толщиной 6/8 дюйма. Она имеет высокую скорость и равномерность травления. Этот тип процесса охватывает все диэлектрические травления в переднем и заднем каналах. Эта машина представляет собой многокамерное кластерное оборудование с полностью автоматической параллельной обработкой, простым обслуживанием, стабильной производительностью, высокой производительностью и низкой стоимостью владения.

Технические характеристики

• Многочастотный режим CCP, большое окно обработки.
• Высокая скорость травления и высокая однородность травления.
• Низкая стоимость владения и низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: совместимость с 6/8 дюймами.

Применимые материалы: оксид кремния, нитрид кремния, нитрид нитридокремния

Адаптируйтесь к процессу: травление пассивирующего слоя, твердой маски, контактного отверстия, отверстия для проволоки, боковой подкладки, самовыравнивания, обратной гравировки и т.д.

Применимая область применения: интегральная схема, составной полупроводник, силовой полупроводник, область научных исследований.