GNP GC-300A

Технические характеристики

Это уникальное устройство для очистки пластин post CMP - это машина, которая может автоматически очищать пластины толщиной 300 мм от кассеты к кассете.

• Применимый размер пластины: 300 мм (12 дюймов)
• Конфигурация: Автономная, с 4 станциями очистки, предварительной очисткой с помощью ножа DIW, очисткой двумя двусторонними роликовыми щетками и отжимом для сушки с помощью обдува N2 (опция: отдельный QDR)
• Размер очистителя: Ш 3,050 / Г 1,250 / В 1,820 Ч мм
• Размер щетки: Ø70 (наружный диаметр) Ø32 (внутренний диаметр) 320 (L) мм
• Станция предварительной очистки: автоматическая очистка распылением и автоматическая завеса между станциями
• Станция для роликовой щетки:
  Химический состав: NH4OH (<1%) или DIW
  Тип щетки: Двусторонняя щетка из ПВА
  Скорость вращения: <± 2% от полного диапазона 30 ~ 300 об / мин
  Подача химикатов: 4 насадки и через щетку
  Доступный химикат: 4 химиката
  Расход химикатов: < 1 л / мин в полном объеме
  Максимальный расход: < 10 л / мин в полном объеме
• Отжимная станция:
  Скорость отжима: не более 2500 об /мин
  Промывка DIW / обдув N2 (опция: Megasonic sweep)
• Управление:
  Процесс: Автоматическая загрузка пластин с автоматической последовательностью, увлажнение / сушка
  Управление последовательностью: ПК и сенсорный монитор ПК, программируемая последовательность, сопоставимая с компьютерной сетью