GNP GPC-300A

Технические характеристики

Эта уникальная полностью автоматическая машина для измельчения и очистки пластин представляет собой машину, которая может автоматически полировать и очищать пластины толщиной 300 мм от кассеты к кассете.

1. Деталь для полировки

• Головка, стол: 30 ~ 200 об /мин, вращательное движение, колебание головки (± 15 мм)
• Размер полировщика: Ш 1,626 * Г 1,500 * В 1,950 мм
• Вес: приблизительно 2500 кг
• Размер валика: Φ 762 мм (30 дюймов), алюминий с тефлоновым покрытием
• Метод прессования: электронный регулятор переменного давления воздуха
• Тип мембраны: 70 ~ 350 г / см ² (1 фунт / кв.дюйм ~ 5 фунтов на квадратный дюйм) для 12-дюймовых пластин
• Процесс CMP: Si CMP, оксидный CMP (BPSG, TEOS, SC), металлический CMP (W, Cu), STI, PGI и т. Д

Опции

• Способ кондиционирования прокладки: Тип колеблющейся головки или тип поворотного рычага
• Система с одной или двумя головками
• Система контроля силы трения и температуры

2. Часть для очистки

• Размер очистителя: Ш 3,050 / 1,250 Г / 1,960 В мм
• Вес: приблизительно 1200 кг
• Размер щетки: Ø70 (наружный диаметр) Ø32 (внутренний диаметр) 320 (L) мм
• Конфигурация: Автономная установка с 4 станциями для очистки, предварительная очистка с помощью ножа DIW, очистка двумя двусторонними роликовыми щетками и отжимное ополаскивание насухо с помощью N2 blow.
• Станция предварительной очистки: автоматическая очистка распылением и автоматическая завеса между станциями

• Станция роликовой щетки:
   Химический состав: NH4OH(<1%) или DIW
   Тип кисти: Двусторонняя кисть из ПВА
   Скорость вращения: <±2% от полного диапазона 30 ~ 300 об/ мин
  Подача химикатов: 4 насадки и через щетку
  Доступные химические вещества: 4 химических вещества
  Расход химикатов: < 1 л/мин в полном объеме
  Максимальный расход: < 10 л/мин полная шкала

• Отжимная станция:
  Максимальная скорость отжима: 2500 об/мин
  Быстрое ополаскивание / продувка N2 (опция: Megasonic sweep)

• Контроль:
  Процесс: Автоматическая загрузка пластин с автоматической последовательностью, намачивание / высыхание
  Управление последовательностью: ПК и сенсорный монитор, программируемая последовательность, совместимость с компьютерной сетью