6-дюймовая стандартная машина для проявки клея ACD6 COATER&DEVELOPER

Конфигурация устройства

2С2Д, 4С, 4Д

Мощность оборудования

180 л/ч

Материал подложки

Si, стекло, сапфир, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN и т.д.

Ширина линии

≥0,35 мкм

Применимый процесс

G-линия, i-линия, PI

Области применения

MEMS, силовые устройства, радиочастотная интеграция, оптическая связь, светодиоды, научные исследования и т.д.

Технические характеристики

·         Оборудование оснащено высокоскоростным манипулятором, имеет высокую производительность и хорошую стабильность;

·         Оснащено функцией RRC, дозировку фоторезиста можно контролировать на уровне 0,6 мл на 4 дюйма.

·         Сбой оборудования, параметры производственного процесса и другие записи можно сохранять надолго; - срок службы;

·         Фоторезист: поставляется с помощью прецизионного дозирующего насоса, с высокой точностью, стабильной подачей жидкости и простой регулировкой подачи клея.

·         Доступен в двух размерах, полностью совместимы, нет необходимости заменять детали.

·         Дополнительный контроль температуры проявителя фоторезиста; HMDS и другие компоненты агрегата.

Размер оборудования

1650*1450*2040 мм (Ш*Г*В)

Модель

Стоимость, доллары США

6-дюймовая стандартная машина для проявки клея ACD6 COATER&DEVELOPER.

Цена по запросу.