Решетка ионного пучка

Технические характеристики

Решетка (GRID) является ключевым компонентом источника ионов.

Состоит из нескольких слоев тугоплавких металлов, таких как молибден и т. д.

Середина сетки имеет сотовую структуру.

Сетка для направления и ускорения параллельного пучка высокоэнергетических ионов.

Технические параметры

• Сверхточная обработка металлической молибденовой многослойной сетки;
• Полностью автоматическое измерение и многопроцессный контроль деформации металлической сетки;
• Собственный инструмент для установки, обеспечивающий точное выравнивание каждого слоя сетки;
• Заводские испытания процесса (FAT) на соответствие требованиям однородности травления при различных условиях электропитания.