Регулятор массового расхода давления DS300

Регулятор массового расхода газа под давлением DS300 — это регулятор массового расхода газа, разработанный для полупроводниковой промышленности и подходящий для полупроводникового оборудования. В DS300 используется технология датчика расхода, основанная на принципе давления и высокоточной технологии управления пьезоэлектрическими клапанами, что обеспечивает малый дрейф нуля, высокую точность, быструю скорость отклика и нечувствительность к давлению. Все поверхности продукта, находящиеся в контакте. с газом изготовлены из металла из нержавеющей стали. Состояние поверхности соответствует требованиям стандартов SEMI.

Технические характеристики

• Технология измерения давления на основе PTS (давление, температура, объем).
• Технология контроля давления на основе искусственного интеллекта.
• Цельнометаллическая коррозионностойкая технология.
• Высокая точность и надежность.

Спецификация расхода (n₂): (0~30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) SLM.

Точность: ±1% S.P. (≥10% F.S.), ±1% F.S. (≈10% F.S.).

Повторяемость: ±0,2% F.S.

Время отклика: ≤ 0,5сек

Рабочее давление: 0,45МПа.