Устройство для покрытия панелей - Stratus™ P500

Технические характеристики

ASMPT NEXX является ведущим поставщиком современного упаковочного оборудования для нанесения покрытий для полупроводниковой промышленности, предоставляя клиентам по всему миру инструменты для напыления (PVD) и гальванопокрытия (ECD). 

Области применения

• Настраивается для обработки до 5 металлов
• Многочиповое разветвление
• Пакеты SoC
• MicroLED

Характеристики продукта

• Аппаратное и программное обеспечение для прецизионного выравнивания пластин
• Покрытие Cu, Sn (Ag), Ni и Au при скорости <10 мкм Л/С
• Одностороннее / Двустороннее покрытие
• Мембранные ячейки обеспечивают высокое использование химических веществ
• Многозонные аноды для оптимальной однородности при обработке толстых и тонких семян
• Экраны с рисунком для равномерного нанесения покрытия с высокой производительностью

Подложки

• панели размером 510× 515 мм, изготовленные на заказ
• Стекло, Композит, Прочее