Устройство для покрытия пластин - Stratus™ P300

Технические характеристики

ASMPT NEXX является ведущим поставщиком современного упаковочного оборудования для нанесения покрытий для полупроводниковой промышленности, предоставляя клиентам по всему миру инструменты для напыления (PVD) и гальванопокрытия (ECD). 

Области применения

• Настраивается для обработки до 6 металлов
• UBM/RDL
• Разветвляются
• Радиочастотные фильтры
• Силовые устройства

Характеристики продукта

• Возможность использования пластин двойного размера
• Мембранные ячейки для длительной стабильности ванны
• Технология ShearPlate ™ для получения тончайшего пограничного слоя
• Гибкость в обращении с субстратом

Подложки

• пластины диаметром 300 и 200 мм
• Кремний, eWLB, связанный, Носитель