Машина для склеивания распылением DYX-810P

Этот продукт подходит для покрытия фоторезистом поверхности подложек специальной формы с шероховатыми поверхностями и в основном используется в МЭМС, керамических устройствах и других областях.

Он подходит для нанесения PR-покрытия на поверхность подложки специальной формы с шероховатой поверхностью, в основном используемой в МЭМС, керамических устройствах и других областях.

Основные характеристики

Распылительная установка

Ультразвуковое или двухжидкостное сопло используется для распыления фоторезиста, а фоторезист снабжается специальным прецизионным насосом подачи жидкости, с высокой точностью и стабильной и надежной подачей жидкости.

Для распыления PR используется ультразвуковая или двухжидкостная форсунка. PR подается специальным насосом с высокой точностью и стабильной подачей жидкости.

Блок рабочего стола

Рабочий стол оси XYZ приводится в движение прецизионным электрическим цилиндром, который не загрязняет окружающую среду, отличается высокой скоростью сканирования, точностью ускорения и хорошей стабильностью.

Рабочий стол по оси XYZ приводится в движение прецизионным электрическим цилиндром, не загрязняет окружающую среду, обеспечивает высокую точность скорости и ускорения сканирования, хорошую стабильность.

Шпиндельный узел

В двигателе шпинделя используется бесщеточный серводвигатель переменного тока для обеспечения высокой точности и хорошей стабильности скорости вращения и управления ускорением; В механизме нагрева используется контактная выпечка, которая имеет высокую точность управления нагревом и хорошую однородность температуры.

Двигатель главного шпинделя оснащен серводвигателем переменного тока для обеспечения высокой точности и стабильности скорости вращения и управления ускорением; HP использует контактную выпечку с высокой точностью контроля нагрева и хорошей однородностью температуры.

Технические параметры