Технические характеристики
Оборудование в основном используется для процессов гомогенизации и проявки в производстве пластин FAB, предварительных пакетов, микроэлектромеханических систем МЭМС и других отраслях промышленности.
Устройства применяются для нанесения покрытий или проявителя в FAB, расширенном пакете, MEMS и т. Д.
Технические параметры
|
Размер пластины |
8″ |
Размер пластины |
8″ |
|
манипулятор |
1 комплект |
Робот |
1 комплект |
|
Гомогенизатор |
2 комплекта |
Блок покрытия |
2 комплекта |
|
Отдел разработки |
2 комплекта |
Единица разработки |
2 комплекта |
|
Скорость вращения шпинделя |
0~5000 об/мин |
Скорость отжима |
0~5000 об/мин |
|
Точность частоты вращения |
±1 об/мин |
Точность скорости |
±1 об/мин |
|
Поставка фоторезиста |
1~20мл |
Объем поставок PR |
1~20мл |
|
Точность подачи фоторезиста |
±0.1мл |
Точность подачи PR |
±0.1мл |
|
Вязкость фоторезиста |
≤500Cp |
PR Вязкость |
≤500cp |
|
Количество объявлений |
2 шт |
Количество AD |
2 комплекта |
|
Количество HP |
7 шт |
Количество HP |
7 комплектов |
|
Количество КТ |
3 шт |
Количество CP |
3 комплекта |
|
Диапазон температур конфорки |
Комнатная температура ~200°C |
Диапазон температур |
комнатная температура ~200°C |
|
Однородность температуры |
±0,5 °C@50 °C ~ 100 °C、±2 °C@100,1 °C ~ 200 °C |
Однородность температуры |
±0,5 °C@50 °C ~ 100 °C, ±2 °C@100,1 °C ~ 200 °C |
|
Размеры |
Д2200мм×Ш2100мм×В2200мм |
Контурный размер |
Д2200мм×Ш2100мм ×В2200мм |
|
Вес |
1600кг |
Вес |
1600кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
DYX-840S Автоматический гомогенизирующий проявитель
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support