Технические характеристики
Оборудование в основном используется для процессов гомогенизации и проявки в производстве пластин FAB, предварительных пакетов, микроэлектромеханических систем МЭМС и других отраслях промышленности.
Устройства применяются для нанесения покрытий или проявителя в FAB, расширенном пакете, MEMS и т. Д.
Технические параметры
|
Размер пластины |
12″ |
Размер пластины |
12″ |
|
манипулятор |
1 комплект |
Робот |
1 комплект |
|
Гомогенизатор |
1 комплект |
Блок покрытия |
1 комплект |
|
Отдел разработки |
1 комплект |
Единица разработки |
1 комплект |
|
Скорость вращения шпинделя |
0~6000 об/мин |
Скорость отжима |
0~6000 об/мин |
|
Минимальная величина регулировки |
1 об/мин |
Мин. регулировка |
1 об/мин |
|
Точность частоты вращения |
±1 об/мин (50 ~ 5000 об/мин) |
Точность скорости |
±1 об/мин (50 ~ 5000 об/мин) |
|
Ускорение шпинделя |
100~20000 об/мин/сек |
Ускорение вращения |
100~20000 об/мин/сек |
|
Количество клея |
3-полосный |
Количество PR |
3 комплекта |
|
Функция обратной промывки |
2-полосный |
BSR |
2 комплекта |
|
Функция бокового снятия |
1 способ |
ЭБР |
1 комплект |
|
Поставка фоторезиста |
Мембранные клеевые насосы |
PR Поставка |
Сильфонный насос |
|
Поставка фоторезиста |
1~20мл |
PR Поставка |
1~20мл |
|
Точность подачи фоторезиста |
±0.1мл |
Точность подачи PR |
±0.1мл |
|
Вязкость фоторезиста |
≤1000Cp |
PR Вязкость |
≤1000cp |
|
Фоторезистная фильтрация |
Необязательный |
PR-фильтрация |
необязательный |
|
Количество горячих дисков |
6 комплектов |
Количество HP |
6 комплектов |
|
Диапазон температур конфорки |
Комнатная температура ~200°C |
Диапазон температур |
комнатная температура ~200°C |
|
Минимальная величина регулировки |
0,1°С |
Минимальная регулировка |
0,1°С |
|
Способ нагрева |
Нагревание слюдяных нагревательных листов |
Метод нагрева |
Нагрев слюды |
|
Однородность температуры |
±0,5 °C@50 °C ~ 120 °C、±2 °C@120,1 °C ~ 200 °C |
Однородность температуры |
±0,5 °C@50 °C ~ 120 °C, ±2 °C@120,1 °C ~ 200 °C |
|
Количество холодных пластин |
2 комплекта |
Количество CP |
2 комплекта |
|
Способ охлаждения |
Циркуляционное охлаждение водяного охлаждения установок |
Режим охлаждения |
Заводская охлаждающая вода |
|
Диапазон температур воды |
18 °C ~ 30 °C |
Диапазон температур воды |
18 °C ~ 30 °C |
|
Размеры |
Д2200мм×Ш2100мм×В2400мм |
Контурный размер |
Д2200мм×Ш2100мм ×В2400мм |
|
вес |
1600кг |
Вес |
1600кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
DYX-1210S Автоматический гомогенизирующий проявитель
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support