Высокоточная полноразмерная трехосевая станция перемещения XYZ

Технические характеристики

Высокоточная полноразмерная трехосевая станция перемещения обеспечивает плавное движение оборудования по осям X, Y и Z в условиях сверхвысокого вакуума, отличается высокой точностью перемещения. Эта платформа использует линейные направляющие и высокоточные шариковинтовые передачи, конструкция стабильна и надежна. Все управление осуществляется с помощью сервомоторов и ЛГС, достигая субмикронной точности и полного замкнутого контроля, высокая грузоподъемность, угол наклона фланца регулируется в диапазоне ±3°.

Особенности:

• Диапазон давления: от 1 бар до 10⁻¹¹ мбар;
• Локальная часть гофрированного шланга выдерживает выпечку при 150℃;
• Материал сварного гофрированного шланга: SS316L;
• Проходной диаметр: 102 мм;
• Верхний монтажный фланец: CF100, сквозное отверстие;
• Нижний монтажный фланец: CF150, сквозное отверстие;
• Разрешающая способность по осям XYZ: 0,2 мкм;
• Привод на серводвигателях;
• Возможна индивидуальная настройка;
• Обратная связь с помощью энкодера с решеткой.

Технические параметры