Система OCS

Технические характеристики

Разработанная и производимая компанией Gona система OCS для пластин диаметром 200 мм и 300 мм соответствует стандартам SEMI E194, S2, S8 и E63.

Благодаря применению передовой высокоточной системы позиционирования и детекции, а также собственных алгоритмов управления, система способна обнаруживать наличие кассет и пластин, выявлять смещение пластин, их перекос и наложение.

Условия и технические характеристики

• Габаритные размеры: 470 мм (Д) × 440 мм (Ш) × 1340 мм (В);
• Размер пластин: 150 ± 2 мм, 200 ± 2 мм;
• Толщина пластин: 725 ± 20 мкм;
• Функции: Двойная / Перекрестная / Пустая /Нормальная;
• Время сканирования: ≤ 18 сек;
• Обнаружение смещенных пластин: Фотоэлектрический датчик;
• RFID: опционально;
• Позиционирование кассеты: Фотоэлектрический датчик;
• Интерфейс параллельной связи: DB25-F;
• Коммуникационный интерфейс: LAN-RJ45;
• Параметры электропитания: 24 В постоянного тока / 3 А;
• Вес: 33 кг.