Система автоматической транспортировки пластин внутри кассет SSY-11010

Технические характеристики

Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Поддерживаемые типы кассет: 200 мм кассеты для хранения, 200 мм стандартные кассеты
Размер пластины: 200 мм
Перемещаемые объекты: Кремниевые пластины, межпластинные прокладки

Наша компания может предоставить индивидуальное проектирование в соответствии с требованиями заказчика к размеру пластин, количеству кассет для хранения, количеству стандартных кассет, необходимости в калибраторе и другим параметрам.
Система совместима с кассетами для хранения различных производителей. Для получения дополнительной информации обращайтесь в нашу компанию.

Система способна выполнять высокоточную транспортировку утоньшенных пластин внутри кассет для хранения
Оснащена автоматическим механизмом открытия крышки кассет для хранения (патент на оформлении).

Автоматическое распознавание пластин и прокладочной бумаги (межслойная бумага) в кассетах для хранения
Одно оборудование может выполнять функции упаковки и распаковки
Автоматическая безповрежденная транспортировка пластин между кассетами для хранения и стандартными кассетами
Опциональная установка бернуллиевских захватов для утоньшенных пластин
Автоматическое определение высоты пластин
Возможность удовлетворения потребностей клиентов в транспортировке нескольких кассет и пластин различных размеров
Совместимость с кассетами для хранения производства Achilles Corporation
Оснащение двумя высокоэффективными фильтрующими устройствами (соответствует стандарту HEPA), обеспечивающими чистоту внутри оборудования
Оснащение цветовым оптическим датчиком для распознавания прокладок различного цвета (межпластинная бумага)

Технические параметры