Технические характеристики
Система обеспечивает безопасную и точную транспортировку тонких пластин из кассет для хранения.
Автоматическая безповрежденная транспортировка пластин между кассетами для хранения и стандартными кассетами
Опциональная установка бернуллиевских захватов для утоньшенных пластин
Автоматическое распознавание пластин и прокладочной бумаги (межслойная бумага) в кассетах для хранения
Автоматическое определение высоты пластин
Возможность удовлетворения потребностей клиентов в транспортировке нескольких кассет и пластин различных размеров
Оснащение автоматическим механизмом открытия крышки кассет для хранения (патент pending)
Совместимость с кассетами для хранения производства Achilles Corporation
Оснащение высокоэффективным фильтрующим устройством (соответствует стандарту HEPA), обеспечивающим чистоту внутри оборудования
Оснащение цветовым оптическим датчиком для распознавания прокладок различного цвета (межпластинная бумага)
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Поддерживаемые типы кассет: 200 мм кассеты для хранения, 200 мм стандартные кассеты
Размер пластины: 200 мм
Перемещаемые объекты: Кремниевые пластины, межпластинные прокладки
Наша компания может предоставить индивидуальное проектирование в соответствии с требованиями заказчика к размеру пластин, количеству кассет для хранения, количеству стандартных кассет, необходимости в калибраторе и другим параметрам.
Система совместима с кассетами для хранения различных производителей. Для получения дополнительной информации обращайтесь в нашу компанию.
Технические параметры
|
Индивидуальная конфигурация |
Возможность проектирования согласно требованиям заказчика: размер пластин, количество кассет для хранения, количество стандартных кассет, необходимость в калибраторе |
|
Перемещаемые объекты |
200 мм кремниевые пластины, межпластинные прокладки в 200 мм кассетах для хранения |
|
Поддерживаемые типы кассет |
200 мм кассеты для хранения, 200 мм стандартные кассеты |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 |
|
Габаритные размеры |
1100 (Ш) × 980 (Г) × 1805 (В) мм |
|
Питание |
AC200V±10% |
|
Чистый сжатый воздух |
0,5 МПа, ≥250 NL/min |
|
Масса оборудования |
600 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система автоматической транспортировки пластин внутри кассет) Система транспортировки . SSY-10010 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support