4-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения SCR3100S

Технические характеристики

3-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения серии SCR3100S, соответствующий требованиям сверхчистых помещений.
Предназначен для транспортировки пластин малого размера внутри полупроводникового производственного оборудования и контрольно-измерительной аппаратуры.
Оптимизация пространственных размеров манипулятора способствует миниатюризации оборудования.

• Повышение чистоты: установка фильтров класса 0,1 мкм внутри манипулятора
• Возможность выбора между фиксацией на основании или фланцевом креплении в соответствии с требованиями оборудования
• Оснащение монитором контроля движения
• Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
• Все оси используют 2-фазные шаговые двигатели
• Управление ускорением/замедлением по S-образной кривой обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин
• Способы фиксации пластин: вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки
• Материал захвата: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
• Возможность подбора оптимального захвата в соответствии с типом перемещаемых объектов и компоновкой оборудования заказчика

Список модификаций продукции

SCR3100S-200-PM: 200 мм
SCR3100S-300-PM: 300 мм

Технические параметры