Автоматическая машина для разработки однородного клея DYX-640S

Технические характеристики

Оборудование в основном используется для стандартных процессов гомогенизации и разработки светодиодов LED, MEMS и IC.

• Диаметр пластин: 4", 6";
• Робот-манипулятор: 1 комплект;
• Модули нанесения фоторезиста: 2 комплекта;
• Модули проявления: 2 комплекта;
• Скорость вращения шпинделя: 0–6000 об/мин, шаг регулировки: 1 об/мин;
• Точность скорости: ±1 об/мин (50–5000 об/мин);
• Ускорение шпинделя: 100–20000 об/мин/сек;
• Количество линий подачи фоторезиста: 2;
• Функция обратной промывки: опционально;
• Функция удаления краевого слоя: опционально;
• Подача фоторезиста: прецизионный насос;
• Объем подачи фоторезиста: 1–10 мл;
• Точность дозирования: ±0.1 мл;
• Вязкость фоторезиста: ≤1000 сП;
• Фильтрация фоторезиста: опционально;
• Количество линий подачи проявителя: 2;
• Тип форсунок: цилиндрические или H-образные;
• Система подачи жидкости: нержавеющие напорные баки;
• Функция обратной промывки: есть (деионизированная вода);
• Количество нагревательных плит: до 9 комплектов;
• Диапазон температур: комнатная температура – 180°C;
• Шаг регулировки температуры: 0.1°C;
• Тип нагрева: слюдяные нагревательные элементы;
• Равномерность температуры: ±1°C (50–120°C), ±2°C (120.1–180°C);
• Модуль увеличения вязкости: опционально;
• Количество охлаждающих плит: до 3 комплектов;
• Система охлаждения: циркуляция технической воды;
• Диапазон температуры воды: 18–30°C;
• Габариты: 1950×1700×1900 мм;
• Масса: 1800 кг.