Автоматическая машина для смешивания клея DYX-420SY

Технические характеристики

Оборудование представляет собой полностью автоматизированную систему звездообразного типа, предназначенную для нанесения равномерного слоя фоторезиста и проведения предварительного отверждения (pre-bake) на кремниевых пластинах диаметром 4 и 5 дюймов. Аппарат осуществляет автоматическую загрузку и выгрузку пластин из стандартных кассет, обеспечивая поштучную обработку каждой подложки с индивидуальными параметрами.

• Диаметр пластин: 4", 5";
• Количество загрузочных/разгрузочных модулей: 4 (2 загрузочных + 2 разгрузочных);
• Количество манипуляторов: 2;
• Количество резервуаров для фоторезиста: 2;
• Скорость вращения шпинделя: 0-5000 об/мин (максимальная 5000 об/мин);
• Точность скорости вращения: ±2 об/мин (в диапазоне 50-5000 об/мин);
• Подача фоторезиста (тефлоновый насос): 1-10 мл;
• Точность дозирования фоторезиста: ±0.1 мл;
• Максимальная вязкость фоторезиста: ≤500 сП;
• Количество нагревательных плит: 4;
• Диапазон температур: от комнатной температуры до 180°C (±1°C, программируемый);
• Минимальный шаг регулировки температуры: 0.1°C;
• Равномерность температуры: ±2°C в диапазоне 50-100°C, ±3°C в диапазоне 100.1-180°C;
• Габаритные размеры: 1400×1200×1800 мм;
• Вес: 800 кг.