Интерфейсный модуль для полупроводникового оборудования EFEM

Широко используется во внешних модулях основного технологического оборудования в производстве полупроводниковых чипов и упаковки, а также в производстве кремниевых пластин. Используется совместно с технологическими машинами для загрузки и выгрузки пластин. В соответствии с производственными мощностями и требованиями технологического процесса может быть настроено количество и функции различных портов, а модуль E84 может быть сконфигурирован для взаимодействия с крановой системой на заводе.

Технические характеристики

• Высокая чистота и надежность
• Высокая скорость передачи данных
• Высокая точность позиционирования
• Система продувки, антикоррозийная защита
• Быстрая настройка
• Технология контроля чистоты, технология очистки
• Технология плавного и быстрого подавления вибрации при работе
• Технология защиты от коррозии
• Технология продувки N Pur
• Технология принудительного выпуска агрессивных газов